用于半导体和存储芯片制造的氙 在半导体制造业中,氙用于微芯片的蚀刻和沉积, 两者都是大气, 等离子体和离子束源,用于蚀刻和沉积过程. 在这个过程中使用的氙需要非常纯净,因为任何杂质最终都会污染硅衬底,或者与过程中的化学品(如氟)反应,产生有毒的、高腐蚀性的氟化氢(HF)。. 作为电子行业服务的全球领导者, 十大正规网堵平十大正规网堵平台的氙气在十大正规网博平台最先进的电子级工厂生产,以更好地保证质量. 可用于准分子激光, 激光缓冲气体, DRAM和3D NAND及等离子显示面板的蚀刻. 了解更多